エレクトロニクスの明日を拓く
「マテリアル×プロセス」
IC製造工程
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カ ジ ノ シ ー ク レ ッ トゴット
切断
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ウェーハ
研削
・研磨
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洗浄
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回路形成
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バック
グラカ ジ ノ シ ー ク レ ッ トド
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洗浄
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ダイシング
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ダイボン
ディング
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ワイヤー
ボンディ
ング
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樹脂封止・
テープ剥離
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ダイシング
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洗浄
ウェーハ研削・研磨工程
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廃液処理／リサイクル
セラミックフィルター -
平面研削ホイール -
LHAパッド
ウェーハ研削・研磨工程
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Noritakeブレード
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廃液処理／リサイクル
セラミックフィルター
カ ジ ノ シ ー ク レ ッ ト紹介
超高精度型
全自動遠心分離機
BG, DC工程で発生する廃液中から
加工残渣を脱水排出可能
- ・最大3000Gの高遠心力
- ・高い脱水性能
- ・全自動運転により省人化
- ・個別/集中システムも対応可能
多段分級
リサイクルシステム
MWS加工スラリーの再生から
原料リサイクルまで
- ・砥粒のみを分級回収し加工スラリー再生
- ・原料リサイクル
- ・産廃量の削減
- ・全自動化による省人化
カ ジ ノ シ ー ク レ ッ トラカ ジ ノ シ ー ク レ ッ ト
ミラクルエース
MWS加工スラリーの再生から
原料リサイクルまで
- ・消耗品レス
- ・コンタミレス
- ・耐食性仕様（ハステロイ、各種樹脂）
セラミックフィルター
加工廃液を濾過することで、
水を再利用可能に
- ・クロスフロー濾過により安定した運転
- ・逆洗により濾過流束が安定
- ・薬品洗浄によりフィルターを再生可能
- ・8種類の膜孔径から選択
- ・排水から99.5%以上の濾過液を回収
- ・クリーンルーム対応
レアメタル濃縮回収
システム
廃液中に含まれる貴金属を
回収・再資源化
- ・クロスフロー濾過により排水中の有価物を分離
- ・濃縮液を遠心分離機にて循環し、固形分回収が可能
- ・添加剤は不要で再生が容易
スタティックミキサー
成膜ガスや雰囲気ガスを
高精度･高効率で混合
- ・複数種類のガスを通すだけで確実に混合
- ・流量コントロールにより、任意に混合比率を設定可能
塗工前温調用熱交換器
均一に・素早く
原料の温度を調整
- ・局部加熱（冷却）無く、温度制御を安定化
- ・ピストンフローにより、カ ジ ノ シ ー ク レ ッ トの熱履歴が均一化
原料自動バッチ調合
装置
複数の原料をカ ジ ノ シ ー ク レ ッ トラカ ジ ノ シ ー ク レ ッ トで
精密に自動調合
- ・カ ジ ノ シ ー ク レ ッ トラカ ジ ノ シ ー ク レ ッ ト軽量・重量計測の2通りの制御で、複数の原料を素早く正確に安全に自動調合
- ・【完全カスタマイズ装置】お客様の仕様に合わせ、最適な設計を提案
